先導基電（600641）：離子注入機龍頭股。
從近五年ROTA來看，先導基電近五年ROTA均值為2.65%，過去五年ROTA最低為2024年的-0.06%，最高為2021年的4.47%。
先導基電在近30日股價上漲8.13%，最高價為21.29元，最低價為17.28元。當前市值為176.35億元，2026年股價上漲3.22%。
集成電路業(yè)務專注離子注入機，出資4億認購上海半導體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金，該基金先后投資飛凱材料、精測電子、長川科技、華卓精科和上海御渡等，并購紫光控股等集成電路裝備材料核心項目。
北方華創(chuàng)（002371）：離子注入機龍頭股。
從近五年ROTA來看，北方華創(chuàng)近五年ROTA均值為6.75%，過去五年ROTA最低為2020年的4.04%，最高為2024年的9.49%。
近30日北方華創(chuàng)股價上漲5.58%，最高價為534元，2026年股價上漲2.39%。
離子注入機股票其他的還有：
愛旭股份（600732）：在近7個交易日中，最高價為14.84元，最低價為14.32元。和7個交易日前相比。
拓荊科技（688072）：2026年股價下跌-9.02%。
華海清科（688120）：在近7個交易日中，最高價為189.6元，最低價為180.1元。和7個交易日前相比。
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