據(jù)南方財富網(wǎng)概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，集成電路裝備概念股有：
四川雙馬：截止09時18分，四川雙馬報20.440元，漲0.05%，總市值156.05億元。
晶盛機電：9月22日消息，晶盛機電（300316）開盤跌1.58%，報38.620元/股，成交量4869.47萬手，換手率3.95%，振幅漲2.12%。
至純科技：9月22日開盤消息，至純科技最新報價28.720元，3日內(nèi)股價上漲0.38%，市盈率為463.23。
擬在上海電子化學品專區(qū)投資建設半導體電子化學品、電子特氣研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目，助力提升我國集成電路關鍵材料的本土生產(chǎn)能力。
聯(lián)動科技：9月22日股市消息，聯(lián)動科技（301369）開盤報74.830元/股。最低達0元，換手率7.47%。
萬業(yè)企業(yè)：9月22日消息，萬業(yè)企業(yè)5日內(nèi)股價上漲4.55%，最新報16.940元，成交量3515.53萬手，總市值為157.65億元。
2018年1月份披露，現(xiàn)經(jīng)工商核準上海集成電路裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金（籌）正式命名為“上海半導體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金”。
華海清科：9月22日消息，華海清科7日內(nèi)股價上漲9.66%，截至09時18分，該股報130.690元，漲1.68%，總市值為461.87億元。
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